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【滑轨式微波CVD系统】--滑动式微波CVD管式炉/双温区微波CVD系统/快速冷却微波CVD系统
CY-CT1200C-S型 微波CVD系统
微波功率: 1.5KW
工作温度: ≤1100℃
加热空间: Ø40mm*150mm
使用气氛: 还原气体、惰性气体、空气
微波泄漏: ≤0.01mw/cm²
CY-SC1200C-S型 滑轨式微波CVD系统
微波功率: 1.5KW
工作温度: ≤1100℃
加热空间: Ø40mm*150mm
使用气氛: 还原气体、惰性气体、空气
微波泄漏: ≤0.01mw/cm²
CY-ST1100C-S型 滑轨式微波管式炉
微波功率: 1.5KW
工作温度: ≤1100℃
加热空间: Ø40×120mm
使用气氛: 氧气、空气、惰性气体、弱还原性气体
微波泄漏: ≤0.05mw/cm²
CY-ST1200C-S型 滑轨式微波管式炉
微波功率: 1.5KW
工作温度: ≤1100℃
加热空间: Ø40*120mm
使用气氛: 真空、还原气体、惰性气体、空气
微波泄漏: ≤0.01mw/cm²
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