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【微波高温设备】技术参数详情
滑轨式微波CVD系统
产品品牌: 长仪微波
设备型号: CY-SC1200C-S
电源电压: 220V±10V
额定功率: 3KW
微波功率: 1.5KW
最高温度: 1200℃
工作温度: ≤1100℃
加热空间: Ø40mm*150mm
控温方式: PLC控制,触摸屏操作
使用气氛: 还原气体、惰性气体、空气
微波泄漏: ≤0.01mw/cm²
应用范围: CY-SC1200C-S型 滑轨式微波CVD系统是一款微波快速升温又可快速降温的真空气氛CVD系统。具有真空、可控气氛及高温的实验环境,适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构可控生长、陶瓷电容气氛烧结、氧化石墨烯还原膨化等实验。
技术参数



CY-SC1200C-S型 滑轨式微波CVD系统

产品用途

CY-SC1200C-S型 滑轨式微波CVD系统是一款微波快速升温又可快速降温的真空气氛CVD系统。具有真空、可控气氛及高温的实验环境,适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构可控生长、陶瓷电容气氛烧结、氧化石墨烯还原膨化等实验

产品特点

●一体化设计、设备与真空气氛配套设备集成,安全方便
●多路质量流量控制系统,装料出料方便,只需一个卡箍即可完成
●国际品牌控制系统,稳定可靠
●工业级微波系统,使用稳定寿命长
●物料升温速度快,可达100℃/min,加热时间缩短成原来的1/5-1/10
●真空成型保温纤维轻质结构,节能高效
●7寸大触摸屏操作,简单方便
●非接触式加热,材料无污染
●可选配置高真空系统,采用高压强、耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏,延长真空系统寿命
●根据客户需要,预存4组工艺,可直接调用和随时修改
●可快速降温,提高实验效率

产品安全

微波泄漏≤0.01mw/cm²(低于手机平均泄漏值)
报警:设备超温、磁控管过热、微波系统故障、压力过高

型号

CY-SC1200C-S

设备结构

箱式(落地摆放)

电压

220±10V  50Hz

额定功率

3KW

微波功率

0.01~1.4kW  连续可调

微波频率

2.45GHz

最高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

加热区长度

150mm

恒温区

100mm

炉管直径

Ø40mm

升温速率

≤100℃/min

控温精度

±1℃

气路数量

3(可根据用户要求配置)

工作压力

进气压力0.05-0.3MPa

静态真空度

中真空:10-100Pa/高真空:10-3Pa

控制程序

手动、恒温、自控,带数据存储,导出实验数据;曲线实时显示,40段可设工艺参数,预设4条工艺曲线,实验随时调出

控制方式

7寸触摸屏+PLC

微波泄露

<0.01mw/cm2

报警

设备超温、磁控管过热、微波系统故障、压力过高

设备尺寸

500*1200*1200mm(长×宽×高)

设备配置

1、304不锈钢炉体1套
2、工业级微波加热系统1套
3、保温模块1套、炉管2根、料舟4个、堵头4个
4、三菱品牌PLC 1件、7寸西门子触摸屏1件
5、气路总成1套(流量计2只、真空计1套、真空泵1台、真空阀2个、316L真空接头法兰1套、压力表1个)
6、滑动装置1套,炉管台架1套
7、手持式微波检漏仪器1件、操作手套1套、不锈钢料钩 1把

选配

1、质量流量控制器
2、分子泵

易损品

1、保温模块
2、炉管
3、坩埚
4、堵头

售后服务承诺

1、整机质保1年(易损品除外)
2、上门安装调试、培训,免费现场指导用户物料的微波工艺
3、全国维修,设备报障2小时内响应,需要现场维修,省内24h,省外48h到现场
4、免费控制软件升级,免费电话或视频技术培训,每半年进行电话询访

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