CY-SC1200C-S型 滑轨式微波CVD系统 |
产品用途 | CY-SC1200C-S型 滑轨式微波CVD系统是一款微波快速升温又可快速降温的真空气氛CVD系统。具有真空、可控气氛及高温的实验环境,适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构可控生长、陶瓷电容气氛烧结、氧化石墨烯还原膨化等实验 |
产品特点 | ●一体化设计、设备与真空气氛配套设备集成,安全方便 ●多路质量流量控制系统,装料出料方便,只需一个卡箍即可完成 ●国际品牌控制系统,稳定可靠 ●工业级微波系统,使用稳定寿命长 ●物料升温速度快,可达100℃/min,加热时间缩短成原来的1/5-1/10 ●真空成型保温纤维轻质结构,节能高效 ●7寸大触摸屏操作,简单方便 ●非接触式加热,材料无污染 ●可选配置高真空系统,采用高压强、耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏,延长真空系统寿命 ●根据客户需要,预存4组工艺,可直接调用和随时修改 ●可快速降温,提高实验效率 |
产品安全 | 微波泄漏≤0.01mw/cm²(低于手机平均泄漏值) 报警:设备超温、磁控管过热、微波系统故障、压力过高 |
型号 | CY-SC1200C-S |
设备结构 | 箱式(落地摆放) |
电压 | 220±10V 50Hz |
额定功率 | 3KW |
微波功率 | 0.01~1.4kW 连续可调 |
微波频率 | 2.45GHz |
最高温度 | 1200℃ |
使用温度 | ≤1100℃ |
加热区长度 | 150mm |
恒温区 | 100mm |
炉管直径 | Ø40mm |
升温速率 | ≤100℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
气路数量 | 3(可根据用户要求配置) |
工作压力 | 进气压力0.05-0.3MPa |
静态真空度 | 中真空:10-100Pa/高真空:10-3Pa |
控制程序 | 手动、恒温、自控,带数据存储,导出实验数据;曲线实时显示,40段可设工艺参数,预设4条工艺曲线,实验随时调出 |
控制方式 | 7寸触摸屏+PLC |
微波泄露 | <0.01mw/cm2 |
报警 | 设备超温、磁控管过热、微波系统故障、压力过高 |
设备尺寸 | 500*1200*1200mm(长×宽×高) |
设备配置 | 1、304不锈钢炉体1套 2、工业级微波加热系统1套 3、保温模块1套、炉管2根、料舟4个、堵头4个 4、三菱品牌PLC 1件、7寸西门子触摸屏1件 5、气路总成1套(流量计2只、真空计1套、真空泵1台、真空阀2个、316L真空接头法兰1套、压力表1个) 6、滑动装置1套,炉管台架1套 7、手持式微波检漏仪器1件、操作手套1套、不锈钢料钩 1把 |
选配 | 1、质量流量控制器 2、分子泵 |
易损品 | 1、保温模块 2、炉管 3、坩埚 4、堵头 |
售后服务承诺 | 1、整机质保1年(易损品除外) 2、上门安装调试、培训,免费现场指导用户物料的微波工艺 3、全国维修,设备报障2小时内响应,需要现场维修,省内24h,省外48h到现场 4、免费控制软件升级,免费电话或视频技术培训,每半年进行电话询访 |